0次浏览 发布时间：2025-04-05 13:53:00
金融界2025年4月5日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“硼扩散反应进气系统及反应设备”的专利，授权公告号 CN 222715503 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种硼扩散反应进气系统及反应设备，硼扩散反应进气系统包括硼源进气组件与反应进气组件，硼源进气组件包括第一进气管，第一进气口用于通入硼源，第一进气口用于直接连通反应腔，反应进气组件包括至少一个第二进气管，第二进气口用于通入氧气或氮气，第二进气管与所述第一进气管隔绝；反应设备包括硼扩散反应进气系统。本实用新型中，第一进气管与第二进气管相互隔绝，硼源与其他反应气体分别通过第一进气管与第二进气管进气，阻断了硼源气体与氧气在反应腔外的混合，降低了硼源气体与反应气体在进入反应腔之前提前反应的可能性，并降低进气方式对反应腔内气场的影响，提高硅片方阻的均匀性。
天眼查资料显示，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，成立于2007年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34817.5136万人民币，实缴资本29835万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目86次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息464条，此外企业还拥有行政许可67个。
本文源自金融界
